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濟南高新區：向“芯”突破 半導體產業乘勢“起飛”
來源： 大眾網2025-08-26 09:00:00
半導體技術是人工智能、物聯網和量子計算等數字產業發展的基礎，對經濟增長、技術進步起到顯著的帶動效應。打造“芯”高地、布局“芯”未來。近年來，濟南高新區以第三代半導體材料為突破口，依托“產、學、研”協同生態，形成了從核心材料、高端裝備到芯片設計的全鏈條布局，半導體產業乘勢“起飛”。
破局“芯”路 攻關關鍵核心技術
半導體設備包括光刻機、刻蝕機、薄膜沉淀設備、涂膠顯影設備、離子注入機等，這些設備的性能直接影響芯片的制造精度和質量。在這其中，離子注入機主要在半導體制造過程中，將硼、磷、砷等元素植入到硅晶原材料上，從而改變半導體材料的電學性能，其設備難度僅次于光刻機。
今年6月底，濟南市艾恩半導體科技有限公司首款自主研發的硅基中束流離子注入機成功下線，這一突破為濟南集成電路產業補鏈強鏈再添關鍵一環。
艾恩(山東)半導體科技有限公司成立于2023年11月，注冊資本3500萬元，是廣州市艾恩半導體科技有限公司的全資子公司。回想從前期融資到決心來濟南扎根發展的過程，艾恩半導體創始人鐘新華感慨萬千。“半導體裝備制造這個圈子很小，團隊同事來自天南海北，濟南這邊的園區環境、行業氛圍都不錯。”鐘新華說。
據介紹，艾恩半導體項目總投資3億元，年產能達30臺，其價格降至進口同類裝備的1/2，但仍高達1500萬元/臺。一臺離子注入機由近2萬個零部件構成，得益于山東省的產業配套優勢，艾恩半導體超過50%的零部件能省內完成采購和加工，顯著降低供應鏈風險。到今年年底，艾恩半導體將交付4臺設備，預計產生銷售收入5000多萬元。
眼前，鐘新華與同事正在攻關第二代碳化硅離子注入機，預計9月面世，這將是首款國產替代產品。未來三至五年內，艾恩半導體將進一步整合產業鏈技術和資源，努力成為國內重要的離子注入機裝備供應商，產品性能達到國際水平。
聚能起勢 多元布局加速起勢
同樣坐落于齊魯軟件園的，還有山東高云半導體科技有限公司（以下簡稱“高云半導體”）。高云半導體成立于 2014 年3月，是一家致力于可編程邏輯芯片（FPGA）產品國產化，是提供集設計、軟件、IP核、參考設計、開發板、定制服務等一體化完整解決方案的國家高新技術企業。高云半導體目前已經完成了55nm和22nm工藝FPGA產品的研發和量產。2021年初兩款產品成功通過車規認證，是國內首家實現車規芯片量產的國產FPGA廠商，產品已經成功應用于通信、工業、汽車電子、消費電子等領域，并初步出口至美國、韓國、日本等多個國家和地區。
“這款芯片主要是應用在通信領域、汽車電子、消費類電子還有工控領域。它其中一個優勢是通過了AEC-Q100測試，也就是它的可靠性、抗老化性都是有保障的。這款產品通過了AEC-Q100 grade2的測試，那就意味著芯片在-40℃至+105℃都能正常工作。”高云半導體軟件工程總監杜金鳳為記者介紹了一款企業研發的芯片。據悉，截至目前，公司申請自主知識產權共計80多項，其中發明專利申請30項，授權12項、集成電路布圖設計6項、實用新型13項、外觀設計1項、軟件著作權37項。
杜金鳳表示，企業的發展離不開園區的支持與服務。近年來，高云半導體通過園區的集成電路設計公共技術服務平臺、國產EDA高性能研發平臺、集成電路快速封裝測試平臺實現了產品的研發與測試工作。“園區的集成電路公共服務平臺為我們的產品研發省了大錢！”杜金鳳說。
近年來，齊魯軟件園打造了山東省規模最大、資源配套最齊全、技術最先進的集成電路公共服務平臺，累計投入資金約1億元。依托平臺支撐，園區涌現出聯暻半導體、世芯電子、概倫電子、高云半導體、方寸微等一批優秀的集成電路設計企業，濟南在安全芯片研發、國產FPGA芯片研發，國產EDA工具和設計服務等領域形成產業特色，總體芯片設計水平位居全國前列。
創新驅動 加力提升產業能級
近年來，濟南高新區在集成電路產業持續發力，在關鍵核心技術突破與產業項目推進方面成果豐碩。其中，2024年，齊魯軟件園獲批濟南市先進計算產業集群、齊魯軟件園高端軟件產業集群、濟南面向多行業的“1+N+N”大數據生態產業集群等3個省級產業集群。
2008年，經科技部批準，濟南齊魯軟件園國家集成電路設計濟南產業化基地成立，是目前國內8個國家級IC基地之一。濟南齊魯軟件園發展中心作為濟南基地的運營和服務機構，形成了集技術支持、人才服務、金融助推、協同創新、創業孵化、載體保障“六位一體”的全生命周期服務體系。2024年9月，世界集成電路協會（WICA）發布2023年全球集成電路產業綜合競爭力百強城市白皮書，濟南市位列榜單第81位。濟南作為集成電路設計業京津冀環渤海區域4個主要城市之一，已集聚80余家集成電路產業相關企業，初步形成了集“設計—制造—封測—應用—支撐”于一體的全產業鏈發展生態。
近年來，園區圍繞集成電路企業發展所需的人才、技術、資金、市場等要素，形成了全生命周期的服務體系，在人才培養方面，組織高校與企業開展定制化培養，將企業的實際項目案例引入課堂，為企業源源不斷地輸送實用型人才。在公共技術平臺建設方面，與省科技廳創發院共同建設的EDA設計平臺、硬件安全測試平臺和快速封裝平臺以及高性能算力平臺等公共服務技術平臺。大大降低了企業的初期投入和研發的成本，滿足了企業在半導體工藝開發、IP設計和器件優化等方面的需求。同時積極引進功率器件、智能傳感器等領域的企業，助力高新區形成集設計、制造、封裝、應用、支撐于一體集成電路全產業鏈生態。
當前，齊魯軟件園已形成多個細分產業集群式發展的良好態勢，聚集高新技術企業兩千余家，產業集群正向更高質量、更高水平演進。
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